产品特点

1、配合精密雾化阀，可实现纳米级涂覆； 

2、配合喷射阀，实现单元件遮蔽防护； 

3、搭载CCD视觉系统； 

4、配备可调节式链条轨道 

5、Z轴可设置XY方向微动平台，最小间距支持30mm，实现多阀同步；

6、支持Z轴旋转轴，多角度实现涂覆应用。 

使用范围 

可用于多行业微量精密涂覆应用场景，如Masking、Coating等工艺，针对单个高精元件的遮蔽防 护、整体的涂覆，可实现多角度全方位的涂覆。 

主要参数

重复精度0.01mm；X/Y轴最大行程800mm，最大移动速度1000mm/s,加速度可达1G；链条式轨道最大可调至500mm； 

产品应用